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超聲壓電位移平臺(tái)

我們提供了一系列不同長(zhǎng)度的精密線性平臺(tái)，并提供不同的附加選擇。行程可以到達(dá) 100 mm，應(yīng)用方向廣泛。采用Crossfixx 超聲壓電技術(shù)，速度可以達(dá)到 200 mm/s。非常適合掃描應(yīng)用，提供恒定的掃描速度，誤差小于 2 %。

我們的平臺(tái)易于安裝和使用，將平臺(tái)和控制器連接可以非常簡(jiǎn)單的通過(guò)軟件控制平臺(tái)到達(dá)需要的位置。

根據(jù)不同的應(yīng)用，我們提供不同的平臺(tái)精度，從分辨率 1.25 um到 1 nm 可選。特殊的定制要求也可以滿(mǎn)足，如高真空環(huán)境，需要將平臺(tái)放置在 SEM 上使用，或者真空腔體之中，仍然能夠保持良好的性能。使用短殼版平臺(tái)，我們可以獲得較大的行程距離，使體積與行程比達(dá)到優(yōu)異。

我們的精密線性平臺(tái)通過(guò)超聲壓電電機(jī)驅(qū)動(dòng)，緊湊以及準(zhǔn)確的線性壓電平臺(tái)，易于安裝以及操作。

產(chǎn)品選型
型號(hào) 圖片
推力 N
行程 mm
負(fù)載 kg
分辨率 nm
重復(fù)精度 nm
精度 μm
速度
XLS-1 
1
 
30、48
 
0.5 max.
 
1250
312
78
5
 
± 1250
± 350
± 80
± 25
 
± 10
± 5
± 1
± 1
 
2 — 5 μm/s Min.
200 mm/s Max.
XLS-3 
3
 
30、48、69、109
 
1.5 max.
 
1250
312
78
5
 
± 1250
± 350
± 80
± 50
 
± 10
± 5
± 1
± 1
 
2 — 5 μm/s Min.
200 mm/s Max.
XLS-5 
5
 
30、48、69、109
 
1.5 max.
 
1250
312
78
 
± 1250
± 350
± 80
 
± 10
± 5
± 1
± 1
 
2 — 5 um/s Min.
200 mm/s Max.

產(chǎn)品中心

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