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壓電XYR平臺

我們提供的微型壓電 XYR 平臺可沿著 X 軸和 Y 軸或者圍繞 Z 軸以納米級精度移動重達 2.5 kg 的負載。

模塊化系統(tǒng)中的所有產(chǎn)品均互相兼容，可輕松組合成多軸系統(tǒng)，提供平滑的連續(xù)運動、快速的步進和整定時間，并帶有靜止自鎖功能。

產(chǎn)品選型
型號 圖片
行程 (XY) mm
行程 θ (Z) °
較小可移動增量 (XY) nm
較小可移動增量 θ (Z) μrad
重復定位精度 (XY) nm
重復定位精度 θ (Z) μrad
推力/拉力 N
XYR-8N 
± 10
 
± 10
 
2
 
＜ 0.1
 
± 200
 
± 15
 
(X) 10 / (Y) 8
XYRHV-8N 
± 10
 
± 10
 
2
 
＜ 0.1
 
± 200
 
± 15
 
(X) 10 / (Y) 8
XYR-16N 
± 10
 
± 10
 
2
 
＜ 0.1
 
± 200
 
± 15
 
(X) 20 / (Y) 16
XYRHV-16N 
± 10
 
± 10
 
2
 
＜ 0.1
 
± 200
 
± 15
 
(X) 20 / (Y) 16

產(chǎn)品中心

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