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納米定位傳感器

納米傳感器是一種基于電容測(cè)微原理的非接觸式位置測(cè)量系統(tǒng),靈敏度高。其能夠分辨皮米,分辨率范圍可達(dá)1.25mm。平行板電容器由兩塊傳感器板(目標(biāo)和探針)構(gòu)成。

Queensgate生產(chǎn)各種類(lèi)型的納米定位傳感器:

NX系列,全金屬結(jié)構(gòu),一般為鋁或超殷鋼材質(zhì)。亦可提供其他材質(zhì)以滿足客戶的具體需求,詳情請(qǐng)咨詢Queensgate。

這些傳感器可使用Queensgate先進(jìn)的模擬單通道控制器驅(qū)動(dòng)。

如有需要,可以生產(chǎn)定制的多通道系統(tǒng)以及定制的傳感頭設(shè)計(jì)。Queensgate已經(jīng)為晶圓步進(jìn)和國(guó)際空間站中的應(yīng)用制造了眾多成功的定制系統(tǒng)。我們非常愿意與您探討您的具體要求。

產(chǎn)品選型
型號(hào) 圖片
材料
分辨率 pm
線性誤差 %
工作面積 mm2
熱漂移 nm/K
NX 系列
鋁/超殷鋼
7
0.02
NA.
NA.
NXB 系列
鋁/超殷鋼
NA.
NA.
22.5
230/3
NXC 系列
鋁/超殷鋼
NA.
NA.
113
230/3
NXD 系列
鋁/超殷鋼
NA.
NA.
282
230/3

產(chǎn)品中心

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