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NXD 系列

納米傳感器

亞納米級(jí)定位分辨率

零滯后，線性誤差低至0.02 %

帶寬高達(dá)10 kHz，高熱穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)

超殷鋼、微晶玻璃和陶瓷材質(zhì)可選

UHV、輻射、低溫、無(wú)磁性等衍生型

納米位置傳感器-納米傳感器用于極限位置監(jiān)控

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品參數(shù)

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產(chǎn)品描述
NanoSensor 是一種基于電容測(cè)微原理的非接觸式位置測(cè)量系統(tǒng)。兩塊傳感器板，一個(gè)目標(biāo)和一個(gè)探針，即可構(gòu)成一個(gè)平行板電容器。
兩塊板的間距可以用適當(dāng)?shù)碾娮涌刂破鳒y(cè)量，分辨率超過(guò) 7 pm，范圍可達(dá) 1.25 mm，頻率響應(yīng)可達(dá) 10 KHz，線性度低至 0.02 %。由于納米傳感器是一種非接觸式方案，因此沒有滯后現(xiàn)象。測(cè)量點(diǎn)沒有功率損耗。
特性
● 亞納米級(jí)定位分辨率
● 零滯后，線性誤差低至 0.02 %
● 帶寬高達(dá) 10 kHz，高熱穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)
● 超殷鋼、微晶玻璃和陶瓷材質(zhì)可選
● UHV、輻射、低溫、無(wú)磁性等衍生型
應(yīng)用
● 精密制造
● 計(jì)量
● 形變測(cè)量
● 應(yīng)變測(cè)量（用于空間站機(jī)械臂和機(jī)械手）
● 平臺(tái)控制
● 材料檢測(cè)
● 顯微鏡
● 主動(dòng)光學(xué)
● 精密光束控制

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產(chǎn)品參數(shù)
參數(shù)/型號(hào) 材料 分辨率 pm 線性誤差 % 工作面積 mm2 熱漂移 nm K
NXD 系列 
鋁/超殷鋼
 
NA.
 
NA.
 
282
 
230/3
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產(chǎn)品資料

Nanosensor

510.64KB

2026-01-16

下載
Nanosensor-TechGuide

839.46KB

2026-01-16

下載

使用手冊(cè)

ProScan_III-v1.12 English

3.89MB

2026-07-24

下載

軟件以及二次開發(fā)

Prior-PS3-USB-DRIVER

1.68KB

2026-07-24

下載
Prior-Terminal-2.10

19.51KB

2026-07-24

下載

產(chǎn)品中心

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