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Queensgate 推出新型多軸納米定位平臺,動態(tài)性能卓越

2025-08-05 11:58:02

虹漸光電

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Queensgate Instruments 擴(kuò)展了其高性能納米定位平臺產(chǎn)品線,推出一款三軸高動態(tài)定位平臺。
QGNPS-XYZ-100D-20H 平臺搭載 Queensgate 久經(jīng)實踐驗證的 NanoMechanism 技術(shù),XY 軸行程達(dá) 100 微米,Z 軸行程為 20 微米。集成電容式定位傳感器提供優(yōu)異的精度和準(zhǔn)確度:XY 軸的分辨率為 0.25 納米,Z 軸分辨率為 0.085 納米,三軸重復(fù)定位精度均達(dá) 0.5 納米。
當(dāng)與 QGNPC-D-6330 多通道數(shù)字控制器結(jié)合使用時,該平臺可提供卓越的動態(tài)性能。平臺插頭內(nèi)置芯片用于儲存校準(zhǔn)數(shù)據(jù)實現(xiàn)即插即用,控制器可替換使用。
QGNPS-XYZ-100D-20H 采用高剛性結(jié)構(gòu)設(shè)計,旋轉(zhuǎn)誤差小:柔性鉸鏈導(dǎo)向結(jié)構(gòu)確保 XY 軸在整個 100 微米行程范圍內(nèi)俯仰和偏航誤差均小于 25 微弧度。鋁制結(jié)構(gòu)實現(xiàn)亞毫秒級快速響應(yīng),四角式固定確保動態(tài)穩(wěn)定性。
該平臺為高精度顯微領(lǐng)域設(shè)計,適配原子力顯微鏡(AFM)、掃描探針顯微鏡(SPM)和近場掃描光學(xué)顯微鏡(NSOM)等應(yīng)用領(lǐng)域。

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