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NPS-XY-100A

兩軸XY壓電臺(tái)

單軸＞100 微米行程，亞納米級(jí)分辨率

滯后和線性誤差＜0.005 %

一階諧振頻率＞350 Hz

高帶寬（＞50 Hz），響應(yīng)時(shí)間短

原位掃描和步進(jìn)響應(yīng)優(yōu)化

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產(chǎn)品描述
NPS-XY-100 壓電掃描柔性鉸鏈導(dǎo)向平臺(tái)，帶有集成的電容位置傳感器，具備亞納米級(jí)的分辨率和可重復(fù)性。
柔性鉸鏈導(dǎo)向機(jī)制的有限元分析將整個(gè) 100 微米范圍內(nèi)的寄生角運(yùn)動(dòng)減少到了 25 微弧度以下。獨(dú)特的均衡安裝系統(tǒng)可確保來(lái)自安裝系統(tǒng)的應(yīng)力降低，并將平臺(tái)的中心確立為坐標(biāo)參考點(diǎn)。
NPS-XY-100 A 二軸 100 × 100 μm 平臺(tái)超殷瓦鋼板-由超殷瓦低膨脹系數(shù)合金（CTE 0.3ppm K-1）構(gòu)成，能夠較大限度的減少熱漂移，在納米尺度上這是非常重要的。三點(diǎn)式運(yùn)動(dòng)學(xué)安裝。
NPS-XY-100 D 二軸 100 × 100 μm 平臺(tái)超鋁版-由鋁制成。其具有 XY-100 系列中優(yōu)異的分辨率和較快的動(dòng)態(tài)性能，且性?xún)r(jià)比高。四角式固定，安裝簡(jiǎn)單。
特性
● 單軸 ＞100 微米行程，亞納米級(jí)分辨率
● 滯后和線性誤差 ＜0.005%
● 一階諧振頻率 ＞350 Hz
● 高帶寬（＞50 Hz），響應(yīng)時(shí)間短
● 原位掃描和步進(jìn)響應(yīng)優(yōu)化
應(yīng)用
● 高精度顯微鏡
● AFM，SPM，NSOM
推薦控制器
● NPC-D-6000?系列
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產(chǎn)品參數(shù)
參數(shù)/型號(hào) 方向 材料 行程 μm 負(fù)載 kg 線性誤差 % 重復(fù)定位精度 nm
NPS-XY-100A 
XY
 
殷瓦合金
 
100 × 100
 
1
 
0.005
 
0.6
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