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MTP 系列

開環(huán)促動器

15、30、45、75 或 105 μm 行程可選

亞納米級分辨率，低電壓，緊湊小巧，高剛性

內(nèi)部預(yù)載 – 高拉力，VAC 和 UVAC 選項(xiàng)

多樣的配件，金屬防護(hù)外殼，負(fù)載可達(dá) 10 Kg

產(chǎn)品描述

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產(chǎn)品描述
MTP 是一種內(nèi)部預(yù)載壓電開環(huán)平移裝置，能夠移動長達(dá) 105 μm，且分辨率高。
該作動器采用了高剛性設(shè)計(jì)，能夠產(chǎn)生 1000 N（MTP-15）的止推力。這一特性使其能夠在 Z 軸向上驅(qū)動高達(dá) 10 kg（MTP-15）的負(fù)載。只需一臺 0 V 至 20 VDC HV 放大器即可驅(qū)動 MTP 作動器的整個(gè)標(biāo)稱行程范圍。此外，如果需要，也可以通過使用 -30 V至 150 VDC HV 放大器來獲得擴(kuò)展的行程范圍。
如果需要小型化和閉環(huán)性能，可以將 MTP 與 Queensgate 的位置測量系統(tǒng)聯(lián)用，可提供亞納米級精度的電容式位置傳感，并獲得傳感器獨(dú)立于作動器放置的優(yōu)勢，能夠自由地將傳感器板安裝在主機(jī)固定裝置的任意適當(dāng)位置。
特性
● 15、30、45、75 或 105 μm 行程可選
● 亞納米級分辨率，低電壓，緊湊小巧，高剛性
● 內(nèi)部預(yù)載 – 高拉力，VAC 和 UVAC 選項(xiàng)
● 多樣的配件，金屬防護(hù)外殼，負(fù)載可達(dá) 10 Kg
應(yīng)用
● 顯微鏡
● 光束控制
● 聯(lián)用 Queensgate 納米傳感器構(gòu)成定制閉環(huán)系統(tǒng)配置

 

 

 

 

 

 

產(chǎn)品參數(shù)
參數(shù)/型號 材料 尺寸 mm 行程 μm 線性誤差 % 重復(fù)精度 nm
MTP-15 
不銹鋼
 
Φ10 × 30
 
15
 
≤6
 
NA.
MTP-30 
不銹鋼
 
Φ10 × 50
 
30
 
≤6
 
NA.
MTP-45 
不銹鋼
 
Φ10 × 70
 
45
 
≤6
 
NA.
MTP-70 
不銹鋼
 
Φ10 × 110
 
70
 
≤6
 
NA.
MTP-105 
不銹鋼
 
Φ10 × 150
 
105
 
≤6
 
NA.
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