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FB205E

Z軸電動(dòng)聚焦模塊

行程 38 mm

分辨率 100 nm

重復(fù)定位精度 ± 0.3 μm

負(fù)載 14 kg

兼容 Prior 正置平臺(tái)

兼容大多數(shù)控制器

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品參數(shù)

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產(chǎn)品描述
FB 系列電動(dòng) 軸根據(jù)不同的應(yīng)用有若干個(gè)選擇,FB203 較為簡(jiǎn)易,可以靈活應(yīng)用于各種光路搭建;FB204FB205 可以直接固定 Prior  XY 電動(dòng)平臺(tái),用于反射光光路,區(qū)別在于底部固定方式不同;FB206 也可以直接固定 XY 平臺(tái),用于透射光路。FB 的控制以及軟件開(kāi)發(fā)兼容 Prior 的控制系統(tǒng)。
FB203/E,FB204/EFB205/E,FB206/E 自帶底座,可以直接固定在光學(xué)平臺(tái)上。全系列也能加裝 0.1 μm 分辨率的線(xiàn)性編碼器。滾珠絲桿的齒距為 1 mm,使用步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng),在確保精度的同時(shí),掉電也可以鎖定。
行程 38 mm,分辨率 100 nm,重復(fù)定位精度 ± 0.3 µm,負(fù)載 14 kg,兼容 Prior 正置平臺(tái),兼容大多數(shù)控制器。
 
 
 
 
 
 
產(chǎn)品參數(shù)
參數(shù)/型號(hào) 行程 mm 重復(fù)精度 μm 分辨率 nm 速度 mm/s 負(fù)載 kg 編碼器
FB205E
38
± 0.3
100
1 — 14
14
100 nm
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產(chǎn)品資料

使用手冊(cè)

ProScan_III-v1.12 English

3.89MB

2026-07-24

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軟件以及二次開(kāi)發(fā)

Prior-PS3-USB-DRIVER

1.68KB

2026-07-24

下載
Prior-Terminal-2.10

19.51KB

2026-07-24

下載
Prior-SDK-2.0.0

1.81MB

2026-07-24

下載
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