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NPS-XYZ-100D-20H

三軸壓電驅(qū)動(dòng)平臺(tái)

XY 軸行程為 100 微米

Z 軸行程為 20 微米

XY 軸分辨率為 0.25 納米

Z 軸分辨率為 0.085 納米

XY 和 Z 軸的可重復(fù)性為 0.5 納米

即插即用,控制器可替換使用,減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間

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產(chǎn)品描述
三軸壓電驅(qū)動(dòng) 柔性鉸鏈導(dǎo)向平臺(tái)
NPS-XYZ-100D-20H 平臺(tái)搭載 Queensgate 的 NanoMechanism 技術(shù),XY 軸的行程為 100 × 100 微米,Z 軸為 20 微米。
平臺(tái)的柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)確保 XY 軸平臺(tái)在在整個(gè) 100 微米范圍內(nèi)運(yùn)動(dòng)時(shí)俯仰和偏航時(shí)小于 25 微弧度。
集成的電容式定位傳感器具備亞納米分辨率。
NPS-XYZ-100D-20H 材質(zhì)為鋁。
當(dāng)載物臺(tái)與 QGNPC-D-6330 多通道數(shù)字控制器結(jié)合使用時(shí),可提供先進(jìn)的動(dòng)態(tài)性能。
特性
XY 軸行程為 100 微米
Z 軸行程為 20 微米
XY 軸分辨率為 0.25 納米
Z 軸分辨率為 0.085 納米
XY 和 Z 軸的可重復(fù)性為 0.5 納米
原位掃描和步進(jìn)響應(yīng)優(yōu)化
插頭內(nèi)置芯片用于儲(chǔ)存校準(zhǔn)數(shù)據(jù)實(shí)現(xiàn)即插即用,控制器可替換使用,減少系統(tǒng)停機(jī)時(shí)間
四角式固定實(shí)現(xiàn)卓越的動(dòng)態(tài)穩(wěn)定性
堅(jiān)固可靠
應(yīng)用
AFM、SPM、NSOM
高精度顯微鏡
推薦控制器
●? QGNPC-D-600 系列
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產(chǎn)品參數(shù)
參數(shù)/型號(hào) 方向 材料 行程 μm 負(fù)載 kg 線(xiàn)性誤差 % 重復(fù)定位精度 nm
NPS-XYZ-100D-20H
XYZ
鋁(鍍鎳)
100 × 100 × 20
0.5
0.005
0.5
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產(chǎn)品資料

軟件以及二次開(kāi)發(fā)

Nanobench 1.4.4.1

22.10MB

2026-07-24

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Nanobench 2.7.9API

39.05MB

2026-07-24

下載
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