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NPS-X-100D

大負載納米定位平臺

行程可達 100 μm

負載能力高達 10 kg

柔性鉸鏈可實現(xiàn)高精度

直接驅(qū)動壓電促動器實現(xiàn)快速響應

電容傳感器可直接測量系統(tǒng)的位移量

可選擇不同配置以優(yōu)化不同負載下的性能

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品參數(shù)

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相關附件

產(chǎn)品描述
納米定位平臺 NPS 系列旨在為要求苛刻的高速高精度應用提供優(yōu)越性能。
大負載直驅(qū)版本可根據(jù)客戶系統(tǒng)需求，在 X（水平）或 Z（垂直）方向上進行校準，以實現(xiàn)優(yōu)越性能。針對不同有效載荷（標準負載高達 6 kg）有不同的校準參數(shù)可選，進行快速步進和整定的調(diào)校。
特性
● 行程可達 100 μm
● 負載能力高達 10 kg
● 柔性鉸鏈可實現(xiàn)高精度
● 直接驅(qū)動壓電促動器實現(xiàn)快速響應
● 電容傳感器可直接測量系統(tǒng)的位移量
● 可選擇不同配置以優(yōu)化不同負載下的性能
應用
● 半導體檢測中的光學組件定位
● 顯微鏡物鏡座定位
● 精密制造
推薦控制器
● NPC-D-6000?系列
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產(chǎn)品參數(shù)
參數(shù)/型號 方向 材料 行程 μm 負載 kg 線性誤差 % 重復定位精度 nm
NPS-X-100D 
X/Z
 
鋁（鍍鎳）
 
100 閉環(huán)
 
水平方向（X）10
垂直方向（X）10
 
0.005
 
0.9
資料下載

產(chǎn)品資料

NPS-X-100D-EN-Datasheet

487.36KB

2026-05-14

下載
NPS-X-100A-INSTALLATION

79.27KB

2026-05-14

下載

軟件以及二次開發(fā)

Nanobench 1.4.4.1

22.10MB

2026-07-24

下載
Nanobench 2.7.9API

39.05MB

2026-07-24

下載
相關附件

產(chǎn)品中心

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