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網(wǎng)站首頁 > 產(chǎn)品中心 > 納米定位系統(tǒng) > 壓電定位偏擺臺 > NPS-Z-90Q

NPS-Z-90Q

重型物鏡定位器

Z 軸行程 100 μm

傾斜/俯仰角度0.4 mrad

通光孔徑 >100 mm

承重 8 kg

材質(zhì)：不銹鋼，鈦合金

尺寸：直徑 165 × 高度 70 mm

快速步進穩(wěn)定：1 μm (±40 nm) 步進整定時間 <10 ms

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品參數(shù)

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相關(guān)附件

產(chǎn)品描述
NPS-Z-90Q 平臺負載高達 8 kg，為大型物鏡和光學(xué)元件的高動態(tài)定位而設(shè)計。
平臺孔徑大于 100 mm，Z 軸行程范圍為 100 μm。它可以配置為純 Z 軸定位，也可以配置為三軸（Z/傾斜/俯仰），從而實現(xiàn)有效載荷的主動對準。
能夠在大負載下 1 μm 步長內(nèi)實現(xiàn) ≤10 ms 的步進整定時間，使其成為半導(dǎo)體制造、測試和檢測以及大型科研項目中物鏡或其他光學(xué)元件應(yīng)用的理想選擇。
特性
● Z 軸行程 100 μm
● 傾斜/俯仰角度0.4 mrad
● 通光孔徑 >100 mm
● 承重 8 kg
● 材質(zhì)：不銹鋼，鈦合金
● 尺寸：直徑 165 × 高度 70 mm
● 快速步進穩(wěn)定：1 μm (±40 nm) 步進整定時間 <10 ms
推薦控制器
●? NPC-D-6000?系列
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產(chǎn)品參數(shù)
參數(shù)/型號 方向 材料 行程 負載 kg 線性誤差 % 重復(fù)定位精度 nm
NPS-Z-90Q 
Z，θ（XY）
 
不銹鋼，鈦合金
 
Z 軸100 μm
θ (XY) 0.4 mrad
 
8
 
NA.
 
NA.
資料下載

產(chǎn)品資料

NPS-Z-90Q-EN-Datasheet

215.31KB

2026-07-17

下載

軟件以及二次開發(fā)

Nanobench 1.4.4.1

22.10MB

2026-07-24

下載
Nanobench 2.7.9API

39.05MB

2026-07-24

下載
相關(guān)附件

產(chǎn)品中心

EN