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H105

行程 154 × 154 mm

可選100 nm線性刻度提供高精度

分辨率0.04 μm

階段定制適合各種正置的顯微鏡或光學(xué)系統(tǒng)

閉環(huán)功能，可選旋轉(zhuǎn)或線性編碼器

ProScan III 控制系統(tǒng)

產(chǎn)品描述

產(chǎn)品參數(shù)

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產(chǎn)品描述

ProScan H105 電動 XY 載物臺為正置顯微鏡打造，憑借出色的適配特性，既能輕松集成到現(xiàn)有的顯微鏡系統(tǒng)中，無縫提升系統(tǒng)性能，又能為原始設(shè)備制造商（OEM）在搭建定制系統(tǒng)時，提供便捷、可靠的解決方案，助力打造功能卓越的顯微設(shè)備。

H105 載物臺的行程為 154 × 154 mm，用于 6 英寸晶圓檢測成像，配備了 2 mm 滾珠絲杠以及 200 步的電機。H105 不僅能提供亞微米級的重復(fù)精度，還能實現(xiàn)高達(dá) 60 mm/s 的運行速度，兼顧提升效率與精準(zhǔn)。

H105 載物臺采用了IST智能掃描技術(shù)，優(yōu)化了載物臺的精度、線性度和其他性能特征，能夠可靠且精準(zhǔn)地對工業(yè)樣品進(jìn)行掃描。此外，可額外選配 0.1 μm 線性編碼器，用以提升長距離運行時的重復(fù)精度。

一、操作簡單易上手

通過H105?電動 XY 平臺，用戶可輕松實現(xiàn)樣品的自動掃描，只需在操作軟件中簡單設(shè)置，平臺就能按照預(yù)設(shè)指令，快速且精準(zhǔn)地對樣品進(jìn)行全方位掃描。不僅如此，它還擁有強大的位置信息存儲功能，用戶可將關(guān)鍵的位置點保存下來，方便后續(xù)隨時回溯和檢查，確保每次實驗都能保持優(yōu)異的重復(fù)性，提高了實驗效率。

二、自定義掃描路徑

在實際檢測過程中，不同的樣品和檢測目的需要不同的掃描方式。H105?充分考慮到這一點，為用戶提供了多樣的掃描路徑選擇。它既可以按照之字形路線進(jìn)行掃描，確保全面覆蓋樣品區(qū)域；也能以蛇形路線穿梭，在提高掃描效率的同時，確保細(xì)節(jié)不被遺漏；甚至還能根據(jù)特殊需求，規(guī)劃隨機路線，滿足一些獨特的檢測場景。

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三、IST智能掃描技術(shù)

IST 智能掃描技術(shù)通過集成誤差補償機制提高載物臺定位精度。在以往使用電動載物臺的過程中可能會出現(xiàn)以下問題：

● 電機驅(qū)動誤差導(dǎo)致目標(biāo)位置與實際位置偏差

● X/Y?軸正交性不完美引發(fā)耦合誤差

● 溫濕度變化使校準(zhǔn)數(shù)據(jù)失效

● 顯微鏡更換不同載物臺之后需要重新校準(zhǔn)

IST校準(zhǔn)過程

● 手動輸入系統(tǒng)參數(shù)（物鏡倍數(shù)、環(huán)境溫度等）

● 自動或手動移動載物臺至網(wǎng)格交點，記錄電機坐標(biāo)與實際位置偏差

● 生成誤差表并存儲于載物臺內(nèi)部存儲器

● 運動過程中控制軟件實時讀取誤差表，修正電機指令

● 可支持多環(huán)境誤差表（如不同溫度），適應(yīng)動態(tài)條件

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IST智能掃描技術(shù)優(yōu)勢

● 即插即用：誤差表儲存載物臺內(nèi)部，跨系統(tǒng)無需重新校準(zhǔn)

● 高精度定位：通過網(wǎng)格交點檢測提升正交性（誤差＜5?角秒）

● 環(huán)境適應(yīng)性：支持多條件誤差補償，長期保持精度

四、廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域

生物醫(yī)藥領(lǐng)域?—— 在細(xì)胞研究、藥物研發(fā)等實驗中，需要對生物樣本進(jìn)行高精度的觀察和分析。可配合顯微鏡，精準(zhǔn)掃描細(xì)胞樣本，幫助科研人員捕捉細(xì)胞的細(xì)微變化，為藥物研發(fā)提供關(guān)鍵數(shù)據(jù)支持。

病理學(xué)領(lǐng)域?——?病理切片的檢測對精度要求較高。能快速、準(zhǔn)確地掃描病理切片，幫助醫(yī)生清晰地觀察病變組織，提高病理診斷的準(zhǔn)確性。

半導(dǎo)體領(lǐng)域?——?半導(dǎo)體晶圓的檢測關(guān)乎芯片的質(zhì)量和性能。憑借其高精度和多樣的掃描路徑，能夠?qū)A表面進(jìn)行全面檢測，及時發(fā)現(xiàn)微小的缺陷和瑕疵。

電子電路領(lǐng)域?——?在電子電路的研發(fā)和生產(chǎn)過程中，需要對電路板進(jìn)行精細(xì)檢測。可實現(xiàn)對電路板的快速掃描，檢測電路的連通性和元件的質(zhì)量。

金相及汽車清潔度領(lǐng)域?——?對于金相樣品的分析以及汽車零部件清潔度的檢測，?都能發(fā)揮重要作用，幫助工程師準(zhǔn)確評估材料性能和產(chǎn)品質(zhì)量。

五、卓越的兼容性及適配性

H105?XY?電動平臺具備出色的通用性，能適配大多數(shù)顯微鏡或光學(xué)系統(tǒng)，可與奧林巴斯、尼康、蔡司、徠卡、明治、麥克奧迪、舜禹等眾多知名顯微鏡品牌完美匹配，為用戶解決設(shè)備適配的后顧之憂。H105?不僅可以對現(xiàn)有的顯微鏡系統(tǒng)進(jìn)行電動化升級，也可用于 OEM 光路系統(tǒng)搭建，為您的科研和檢測工作提供穩(wěn)定的支持。

六、型號說明

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產(chǎn)品參數(shù)

參數(shù)/型號	行程 mm	重復(fù)精度 μm	分辨率 μm	速度 mm/s	負(fù)載 kg	編碼器精度 μm	螺距 mm
H105/2	154 × 154	＜1	0.04	60	10	No	2
HE05/2	154 × 154	＜0.9	0.1	60	10	0.1	2
H105NL/2	154 × 154	＜1	0.04	60	10	No	2
HE05NL/2	154 × 154	＜1	0.04	60	10	0.1	2