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XVP

超聲壓電線性平臺

行程：50 mm

重量（平臺）：572 g

負載：＜1.5 kg，鎖止力：30 N

驅動力：30 N，導線長度：1.5 m

平臺材料：陽極氧化鋁

接頭：15 針 D-sub 接頭或者定制 LEMO 接頭

產品描述

產品參數(shù)

資料下載

相關附件

產品描述
高負載Z軸平臺
XVP Z 軸平臺內部有兩個超聲壓電電機，這可以確保電機本身能夠提供足夠大的推力而不需要彈簧來抵消重力，在這個基礎上，同時確保納米量級的分辨率，并完成快速定位。 平臺可以抬升 1.5 kg 的負載，并可以和其他平臺組成 XYZ 或者 XYZR 系統(tǒng)。為了避免誤解，平臺沒有 XY 方向的移動，只是為了完成Z軸方向的移動，水平方向的運動通過一個斜楔轉化到Z軸方向。 平臺斷電自鎖，因此散熱量大大減少，內部集成編碼器，分辨率為 1 nm。
特性
● 驅動原理：Crossfixx 超聲壓電技術
● 軸承：高精度交叉滾珠軸承
● 壽命：運行距離大于 1000 km
機械特性
● 行程：50 mm
● 重量（平臺）：572 g 
● 負載：＜1.5 kg
● 鎖止力：30 N
● 驅動力：30 N
● 平臺材料：陽極氧化鋁
● 導線長度：1.5 m
● 接頭：15 針 D-sub 接頭或者定制 LEMO 接頭
運動性能（閉環(huán)）
● 編碼器類型：請選擇編碼器分辨率
● 編碼器分辨率：1 nm
● 位置分辨率：25 nm
● 雙向重復精度：± 50 nm
● 較大速度：200 mm/s
● 較小速度：2 — 5 µm/s
● 速度穩(wěn)定性：± 1%
運動誤差
● 直線度/平面度誤差：± 5 — 10 µm 取決于平臺長度
選配
● 真空（10 -6 mbar）：-HV
● 短殼版有較大的行程：-SC
環(huán)境兼容性
● 溫度范圍：-30°C — +70°C
● 濕度范圍：20 % — 90 % 相對濕度
● 功耗（電機）：＜10 W
控制器/軟件
● 兼容 Xeryon 控制
● 簡單易用 Windows 軟件或者 LavView 驅動
● C++ 以及 Python libraries 提供

 

 

 

 

 

 

產品參數(shù)
參數(shù)/型號 行程 (Z) mm 分辨率 nm 較小可移動增量 nm 雙向重復性 nm (typ. @ ± 5 mm travel) 偏擺 Pitch 偏擺 Yaw 推力/拉力 N 真空兼容性
XVP-80 
10
 
1250
312
78
5
 
1250
312
80
50
 
2500
700
160
100
 
140
 
60
 
30
 
10-6 mbar
10-9 mbar
資料下載

產品資料

Xeryon_XVP_series

456.13KB

2025-09-28

下載

使用手冊

Xeryon XD-C manual v3.0

895.59KB

2026-07-24

下載
Xeryon XD-M manual v3.0

910.46KB

2026-07-24

下載

軟件以及二次開發(fā)

LabVIEW Software Xeryon 2021

744.58KB

2025-12-15

下載
Xeryon Python-Matlab Library

764.02KB

2025-12-15

下載
Xeryon TwinCAT

13.59MB

2026-07-24

下載
Xeryon-CPP-Library

15.41KB

2026-07-24

下載

3D模型文件

XVP_assy_A

364.36KB

2025-09-23

下載
相關附件

產品中心

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